在對電力設備的局部放電檢測中，按設備是否含有絕緣油分為充油設備和干式設備。對充油設備進行局部放電檢測儀試驗檢測時，首先要對充油設備進行油中溶解氣體的色譜分析，色譜分析法是檢測絕緣材料(主要是固體絕緣材料、液體絕緣材料)在局部放電作用下發生分解產生的各種生成物，可以通過測定這些生成物的組成與濃度，來表征局部放電的程度。

  主要著重檢測乙炔氣體的含量，因為在溫度高于1000℃時，例如在電弧弧道溫度(3000℃以上)的作用下，油裂解產生的氣體中含有較多的乙炔。當乙炔氣體含量超過5ppm(每升油中含有乙炔氣體的5微升) 時， 應引起注意，并結合產氣速率來判斷有無內部故障。

  產氣速率是與故障消耗能量大小、故障部位、故障點的溫度等情況直接有關的。當乙炔含量超過應注意值時，并烴類氣體總的產氣速率在0.25ml/h(開放式)和0.5ml/h(密封式)或相對產氣速率大于10%/月可判斷為設備內部存在異常(總烴含量低的設備不宜采用相對產氣速率進行判斷)。

  局部放電檢測儀檢測過后，當判斷變壓器內部可能存在潛伏性故障時，變壓器等設備涉及產氣的內部故障一般可分為過熱和放電。過熱按溫度高低分為低溫、中溫和高溫過熱3種，此類故障的特征氣體主要是CH4與C2H4，一般二者之和常占總烴的80%以上，并隨著故障點溫度的升高，CH4、C2H4和H2的比例依次增大。

  放電又可分為局部放電、火花放電和高能量放電3種類型，此類故障的特征氣體主要是C2H2和H2，其次是C2H4和CH4;另外，變壓器內部進水受潮也是一種內部潛伏性故障，它的特征是H2含量單純較高。